卧式真空炉
所属系列：半导体材料专用设备
该设备主要用于蓝宝石衬底材料的退火，也适用于各种新材料的退火；兒嗎具有控温精度高、产品一(yī)致性好(hǎ離他o)、运行平稳、可靠性高等特点，是蓝宝石衬底材料及各种科購新材料的必备工(gōng)艺设备

技术参数

1、设计温度：1800℃
2、最大(dà)炉膛尺寸：2000mm×600女木mm×400mm
3、供电电源：AC380V±10％,3相4线, 50Hz
4、加热元件：硅碳棒或硅钼棒
5、适用烧结气氛：氮气、氩气、一(yī)氧化碳、氢气、氧多體气

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